Sensofar非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx

在精密制造與材料科學(xué)領(lǐng)域，表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量是質(zhì)量控制與研發(fā)創(chuàng)新的核心環(huán)節(jié)。西班牙Sensofar公司推出的S lynx 2 3D表面光學(xué)輪廓儀，憑借其突破性的三合一測(cè)量技術(shù)、緊湊型設(shè)計(jì)及智能化算法，重新定義了非接觸式表面測(cè)量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，成為工業(yè)檢測(cè)與科研分析領(lǐng)域的關(guān)鍵工具。

一、技術(shù)革新：三合一測(cè)量體系的協(xié)同優(yōu)勢(shì)

S lynx 2的核心競爭力在于其集成了干涉測(cè)量、共聚焦成像與AI多焦面疊加三種技術(shù)，形成覆蓋全尺度表面的測(cè)量矩陣：

干涉測(cè)量技術(shù)

針對(duì)光滑表面（Ra<10nm）的亞納米級(jí)精度需求，S lynx 2采用白光干涉原理，通過分析光程差產(chǎn)生的干涉條紋，實(shí)現(xiàn)垂直分辨率達(dá)0.1nm的超高精度測(cè)量。該技術(shù)尤其適用于半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片等超光滑表面的粗糙度分析，可精準(zhǔn)捕捉納米級(jí)缺陷與形貌變化。

共聚焦成像技術(shù)

對(duì)于中等粗糙度表面（Ra 10nm-1μm），共聚焦技術(shù)通過針孔濾波排除離焦光干擾，結(jié)合高速振鏡掃描，在水平方向?qū)崿F(xiàn)亞微米級(jí)分辨率。其優(yōu)勢(shì)在于可同時(shí)獲取表面高度與反射率信息，適用于金屬加工件、陶瓷涂層等材料的形貌與紋理復(fù)合分析。

AI多焦面疊加技術(shù)

針對(duì)粗糙表面（Ra>1μm）或大高差樣品（如3D打印構(gòu)件、地質(zhì)樣本），S lynx 2創(chuàng)新性地引入深度學(xué)習(xí)算法，通過多焦面圖像融合技術(shù)，突破傳統(tǒng)光學(xué)輪廓儀的動(dòng)態(tài)范圍限制。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，該技術(shù)可在10mm垂直行程內(nèi)保持0.5μm的重復(fù)性精度，同時(shí)將測(cè)量效率提升至傳統(tǒng)方法的3倍以上。

二、系統(tǒng)設(shè)計(jì)：緊湊性與功能性的平衡藝術(shù)

S lynx 2在工業(yè)級(jí)性能與實(shí)驗(yàn)室級(jí)精度之間實(shí)現(xiàn)了平衡：

空間效率：整機(jī)尺寸僅420mm×380mm×580mm，重量不足35kg，可靈活部署于潔凈車間或研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。其模塊化設(shè)計(jì)支持快速更換物鏡（2.5×-100×可選）與光源（白光/LED雙模式），適應(yīng)不同測(cè)量場景。

電動(dòng)平臺(tái)：集成125mm×75mm行程的電動(dòng)XY平臺(tái)，配合高精度傾斜調(diào)整臺(tái)（角度分辨率0.001°），可自動(dòng)完成樣品定位與調(diào)平。創(chuàng)新性的拼接算法支持全視場高分辨率成像，單次測(cè)量面積較傳統(tǒng)設(shè)備擴(kuò)大5倍。

智能計(jì)算架構(gòu)：采用傳感器頭內(nèi)嵌式計(jì)算單元，將數(shù)據(jù)預(yù)處理效率提升40%，釋放主機(jī)PC性能用于復(fù)雜分析。配套的SensoVIEW軟件支持ISO 25178、ASA S2等20余種國際標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)計(jì)算，并內(nèi)置機(jī)器學(xué)習(xí)模塊，可自動(dòng)識(shí)別表面缺陷類型與成因。

三、應(yīng)用場景：跨行業(yè)的測(cè)量解決方案

S lynx 2的技術(shù)特性使其在多個(gè)制造領(lǐng)域展現(xiàn)不可替代性：

半導(dǎo)體行業(yè)

在晶圓減薄、TSV通孔加工等工藝中，其0.1nm垂直分辨率可精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)亞表面損傷層厚度，結(jié)合共聚焦技術(shù)的反射率成像功能，可同時(shí)評(píng)估刻蝕均勻性與側(cè)壁粗糙度，為工藝優(yōu)化提供多維數(shù)據(jù)支持。

新能源汽車領(lǐng)域

針對(duì)電池極片涂層厚度一致性檢測(cè)，S lynx 2的非接觸式測(cè)量避免了傳統(tǒng)探針式輪廓儀的劃傷風(fēng)險(xiǎn)。其10mm動(dòng)態(tài)范圍可完整覆蓋極片彎曲形貌，AI拼接功能實(shí)現(xiàn)米級(jí)長度的在線全檢，檢測(cè)效率較激光輪廓儀提升8倍。

生物醫(yī)學(xué)工程

在人工關(guān)節(jié)表面微結(jié)構(gòu)表征中，共聚焦技術(shù)的反射率與高度雙通道成像可區(qū)分羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度。配合3D形貌重建功能，可定量評(píng)估涂層與基體的結(jié)合強(qiáng)度，為植入物壽命預(yù)測(cè)提供關(guān)鍵參數(shù)。

四、市場驗(yàn)證：用戶價(jià)值與技術(shù)口碑

自2024年上市以來，S lynx 2已在全球交付超300臺(tái)，客戶覆蓋ASML、特斯拉、西門子醫(yī)療等行業(yè)。國內(nèi)某頭部半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，該設(shè)備將晶圓表面缺陷檢測(cè)的漏檢率從0.3%降至0.02%，同時(shí)將檢測(cè)周期從12小時(shí)縮短至2小時(shí)。北京儀光科技有限公司作為Sensofar中國區(qū)總代理，提供從安裝調(diào)試到工藝開發(fā)的全生命周期服務(wù)，其"7天快速響應(yīng)+1年整機(jī)質(zhì)保"政策，進(jìn)一步鞏固了用戶信心。

五、未來展望：智能表面測(cè)量的新范式

隨著工業(yè)4.0與AI技術(shù)的深度融合，S lynx 2正朝著"測(cè)量-分析-決策"一體化平臺(tái)演進(jìn)。2025年推出的SensoVIEW 2.0軟件已集成數(shù)字孿生模塊，可實(shí)時(shí)映射生產(chǎn)線的表面質(zhì)量數(shù)據(jù)，并通過API接口與MES/ERP系統(tǒng)無縫對(duì)接。可以預(yù)見，這款凝聚西班牙光學(xué)工程智慧的測(cè)量利器，將持續(xù)推動(dòng)制造業(yè)向目標(biāo)邁進(jìn)。

Sensofar非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx